項目地址:
廣州市黃埔區(qū)姬火路6號中巨科學(xué)城創(chuàng)新城
項目概況:
自動化系統(tǒng)受控區(qū)域范圍為FMCS自控(測試臺、清洗區(qū)、拋光區(qū)、薄膜區(qū)、光刻區(qū)等,項目潔凈要求為千級、百級,EBL光刻實驗室采用高精度大風(fēng)量控制,室內(nèi)溫濕度為21℃±0.1℃)。弱電系統(tǒng)受控區(qū)域范圍包括全廠視頻監(jiān)控、門禁、電話系統(tǒng)、辦公網(wǎng)絡(luò)、生產(chǎn)網(wǎng)絡(luò)。硬件組成采用PLC分散式控制方案,各系統(tǒng)獨立控制,CPU1500+ET200SP冗余配置,通過西門子PROFINET協(xié)議,結(jié)合工業(yè)以太網(wǎng)環(huán)網(wǎng),獨立工業(yè)數(shù)據(jù)庫,搭載西門子WINCC7.5圖控軟件,整合全廠控制系統(tǒng)。系統(tǒng)組成包括MAU新風(fēng)控制系統(tǒng),RCU空調(diào)控制系統(tǒng),F(xiàn)FU控制系統(tǒng),酸、堿排系統(tǒng)、一般排風(fēng)系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、純廢水系統(tǒng)、CDA空壓機系統(tǒng)、PV真空系統(tǒng)、PCW工業(yè)冷卻水系統(tǒng)。
效益價值:
1)對空氣進行恒溫恒濕、壓力、壓差自動控制處理和實時數(shù)據(jù)監(jiān)控,實現(xiàn)集中管理,簡化了復(fù)雜的控制流程,提高了設(shè)備運行的協(xié)調(diào)性和效率
2)設(shè)備運行有多方預(yù)警/報警 提醒,確保生產(chǎn)連續(xù)性,也便于后期升級和維護
3)通過PLC控制器對所有空調(diào)設(shè)備進行控制,所有設(shè)備均采用一對一控制方式,在現(xiàn)場及電腦室均可起停操作空調(diào)機組